菲希爾X射線XDL230主要技術指標：（標★為重要參數）

1、測量原理：X射線熒光光譜法測量鍍層厚度

2、測量方式：無損檢測，可自動聚焦

3、元素測量范圍: Cl（17）--U（92），多可測量24種元素23層鍍層。

★4、手動X/Y平臺,移動范圍≥95x150mm,可用工作臺面≥420x450mm

5、電動Z軸，手動/自動聚焦，可移動范圍≥140mm

★6、采用DCM（測量距離補償法）可遠距離對焦測量腔體樣品，可達80mm深度

★7、滿足可變高壓30KV,40KV,50KV三種可調節，以滿足不同的測試需求。

★8、準直器：φ0.3的圓形準直器

9、X射線探測器：比例接收器

10、統計計算：數據組帶時間和時期功能，統計功能包含平均值、標準偏差、大值、小值等；還可輸入公差范圍，計算CP和Cpk值，超范圍值時儀器應有自動報警提示功能

11、windows7以上中文操作界面，WinFTM專業測試軟件，具備連接PC和打印機的USB借口

★12、測量誤差：鍍層厚度≥0.5um時，頂層鍍層測量精度≤5%